超純水對(duì)芯片企業(yè)有多重要？
發(fā)布時(shí)間：2022-11-22
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你知道生產(chǎn)芯片的企業(yè)一天要用多少超純水嗎？據(jù)了解臺(tái)積電三納米工廠一天用水量高達(dá)十三萬(wàn)噸。
芯片生產(chǎn)的過(guò)程中有一個(gè)非常重要的步驟，需要利用純水沖洗，而這個(gè)純水的來(lái)源就是凈化而來(lái)的，因此需要消耗大量的水資源。而越是工藝制程好的芯片，所需消耗的水資源就越多。
對(duì)于這個(gè)沖洗的環(huán)節(jié)，我們不得不提到它的用水標(biāo)準(zhǔn)。普通的自來(lái)水在芯片沖洗過(guò)程中應(yīng)用是絕對(duì)不可以的，我們需要用到的是超純水。超純水是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)的水。
由于芯片生產(chǎn)需要用到大量的超純水，超純水的制備又成為了關(guān)鍵問(wèn)題。超純水設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水，不會(huì)因樹(shù)脂再生而停止運(yùn)行。
